導致此類故障的原因主要有5個方面：

　　1、機床進給單位被改動或變化;

　　2、機床各軸的零點偏置(NULLOFFSET)異常;

　　3、軸向的反向間隙(BACKLASH)異常;

　　4、電機運行狀態異常，即電氣及控制部分故障;

　　5、機械故障，如絲桿、軸承、軸聯器等部件。

　　此外，加工程序的編制、刀具的選擇及人為因素，也可能導致加工精度異常。

　　機械故障導致的加工精度異常，主要應對以下幾方面逐一進行檢查。

　　1、檢查機床精度異常時正運行的加工程序段，特別是刀具長度補償、加工坐標系(G54～G59)的校對及計算。

　　2、在點動方式下，反復運動Z軸，經過視、觸、聽對其運動狀態診斷，發現Z向運動聲音異常，特別是快速點動，噪聲更加明顯。由此判斷，機械方面可能存在隱患。
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